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产品简介
SAB9510是一款全自动的超原子束表面TRIM机，可通过Cassette自动上下料，适用于半导体薄膜超精密TRIM批量化生产。
项目
指标
晶圆尺寸
4-12寸
上料模式
Cassette自动上下料
晶圆校准
Aligner
去除效率
800 Å*cm²/s @Si
支持工艺气体
NF3/Ar/SF6/O2/He或其他混合气体
束流强度
＞100μA @Ar
束斑尺寸
半高宽<5mm
离子能量
60kev
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